Drei Zonen 1700℃ CVD-Vakuumröhrenofen
Der Ofen verwendet einen Silizium-Molybdän-Stab als Heizelement, eine doppelschichtige Schalenstruktur und ein 31-Abschnitt-Programm-Temperaturregelungssystem, einen Phasenverschiebungsauslöser und eine siliziumgesteuerte Steuerung, und der Ofen verwendet Aluminiumoxid-Keramikfaser, vakuumgeformtes Faserlichtplattenmaterial.
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