1200 ℃ Zweizonen-Pecvd-System mit Schieberegler

Modell-

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-i

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-ii

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-iii

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-iv

Leistung

3kw

3kw

4kw

4kw

Ofenrohrgröße (mm)

Ø 60 (od) x1800mm

Ø 80 (od) x1800mm

Ø 100 (od) x1800mm

Ø 120 (od) x1800mm

Abmessungen

1800x410x610

1800x410x610

1800x460x660

1800x460x660

Versorgungsspannung

220v

Phasennummer

einzelphase

Steuermodus

Jüdische Temperaturregelung

30 Sektionen können nur mit PID-Temperaturregelung betrieben werden.

fp93 temperaturregelung (aus japan)

(Ersetzen Sie importierte Instrumente gegen eine zusätzliche Gebühr)

Die Programmtemperaturregelung mit 1,40 Abschnitten kann in ein Programm mit 4,2,1 Gruppen unterteilt werden, wenn das Programm in vier Gruppen unterteilt ist, wobei jedes Programmsegment 10

2,6-Gruppen-PID-Regelung, niedrige, mittlere und hohe Temperatur können jeweils mit einem Satz von PID, so dass jedes Segment in der Lage ist, die Temperatur zu regeln, ist sehr genau.

Temperaturregelungsmodus

intelligente PID

Burnout-Schutz und Anzeige

Ja

Übertemperaturschutz

Ja

Überstromschutz

Ja

Regelgenauigkeit

+/- 1 ℃

auslösen

Phase-Shift-Trigger

scr

106 / 16e deutschland simon kang

die 1,2 temperaturzone max temperatur

1200 ℃

die 1.2 Temperaturzone

Nenntemperatur

1150 ℃

Erwärmungsrate

≤30 ℃ / min (auf Anfrage erhältlich)

empfohlene Heizrate

≤ 15 l / min

Thermoelementtyp

k Typ

die Heizlänge der Temperaturzone 1,2

205mm

umgebende Oberflächentemperatur

≤45 ℃

Plasma-HF-Leistung

Leistungsbereich

0-500W

maximale reflektierte Leistung

10w

Signalfrequenz

13,56 MHz ± 0,005%

Lärm

& lt; 30 db

Luftkühlung

Kühlungsmethode

Eingangsleistung

208-240 V 50/60 Hz

Hauptparameter des gx-Versorgungssystems

Standardbereich

Protonenflussregler 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm, 1,2,3,5,10slm

(Sie können eine beliebige Skala wählen)

Richtigkeit

± 1,5%

Druckverlust

& lt; 0,01 MPa

Wiederholbarkeit

± 0,2% fs

max

Betriebsdruck

3mp

vs-0.1 Auspuffanlage

Energieversorgung

220 V / 380 V, 380 W

Pumprate

2l / s

Widerstandsvakuummeter

zdr-i

Vakuummessbereich

0,1-10 5 pa

Vakuumpumpe

vrd-8

Wellrohr

kf25x1000mm

Vakuumsystem

10 -1pa