Wirbelschicht-CVD-Ofen

Wirbelschicht-CVD-Ofen - TOB-1200-LTS-FB

Produktübersicht und ideale Anwendungen

Der TOB-1200-LTS-FB ist ein Wirbelschicht-CVD-Ofen für Experimente zur Pulveroberflächenabscheidung. Ein hochreines Quarzrohr trägt in seinem untereren Abschnitt eine poröse Quarzplatte; das Pulver liegt auf dieser Platte, Gas wird von der Unterseite des Rohrs zugeführt, und der aufsteigende Strom durch die Platte hebt die Partikel an, sodass sie in der beheizten Zone schweben, während die Abscheidung stattfindet.

Der Ofen erreicht 1200 °C in weniger als 1 Stunde und hält 1150 °C im Dauerbetrieb, mit einer 200 mm Heizzone und einer 100 mm Konstanttemperaturzone. Das Rohr ist mit 25 mm oder 50 mm Durchmesser bei einer Länge von 600 mm erhältlich, und die poröse Platte wird entsprechend der von Ihrem Pulver benötigten Poren Größe gefertigt. Ein doppelwandiges Gehäuse mit Luftkühlung, ein geteilter Ofenkörper zum Auswechseln der Rohre, ein Quarzrohrschutz und ein mechanisches Überdruckventil gehören zur Standardausstattung.

Ideal für:

• CVD-Abscheidung auf Pulvern, die einzeln suspendiert und nicht in einem Festbett gepackt sein müssen
• Beschichtungsexperimente, bei denen Gas gleichmäßig durch den gesamten Rohrquerschnitt strömen muss
• Pulvermengen, die für ein Rohr mit 25 mm oder 50 mm Durchmesser und 600 mm Länge ausgelegt sind
• Prozesse, die eine Spitzentemperatur von 1200 °C mit einer Regelung von ±1 °C und eine Rezeptbibliothek mit 15 Programmen erfordern
• Nicht geeignet für:korrosive oder saure Prozessgase (Schäden durch diese sind von der Garantie ausgeschlossen) oder Pulver, deren Partikelgröße durch die verfügbare Gasgeschwindigkeit nicht fluidisiert werden kann

Senden Sie uns Ihren Pulvertyp, die Partikelgröße und die Zielbeschichtung, und wir bestätigen den Rohrdurchmesser sowie die Spezifikation der porösen Platte für Ihren Prozess.

Wo die Wirbelschicht-CVD in der Pulverbeschichtungsforschung eingesetzt wird

In einem Festbett berühren sich die Partikel gegenseitig, und das Gas sucht sich Wege des geringsten Widerstands, weshalb die Beschichtungsdicke von Partikel zu Partikel variiert. Eine Wirbelschicht behebt dieses Problem, indem sie die Partikel auf einem aufwärts gerichteten Gasstrom anhebt, sodass jedes Partikel auf seiner gesamten Oberfläche dem Prekursor ausgesetzt ist. Der Ablauf in diesem Ofen ist wie folgt:

1. Das Pulver wird auf die poröse Quarzplatte im Inneren des Quarzrohrs geladen, und das Rohr wird mit der Edelstahler Flanschbaugruppe verschlossen.
2. Prozessgas wird am unteren Ende des Rohrs eingeleitet und strömt durch die poröse Platte nach oben, welche die Strömung über den gesamten Rohrquerschnitt verteilt.
3. Oberhalb der Austraggeschwindigkeit verlassen die Partikel die Platte und bilden eine schwebende Schicht innerhalb der 200 mm Heizzone, in der sich der Prekursor auf ihren Oberflächen zersetzt.
4. Das beschichtete Pulver wird nach dem Abkühlen durch Öffnen des oberen Flansches entnommen. Der Rohrschutz und das mechanische Überdruckventil verbleiben während des gesamten Laufs an ihrem Platz.

Da die Poren Größe der Platte sowohl den Druckverlust als auch die Gleichmäßigkeit der Gasverteilung bestimmt, ist dies die einzelne Spezifikation, die das Ergebnis am stärksten beeinflusst. Poren größen von 4–550 µm sind verfügbar, und die Platte wird nach Maß gefertigt.

Wichtigste technische Merkmale des TOB-1200-LTS-FB

• Speziell entwickelt für die Pulverabscheidung:die poröse Quarzplatte und der untere Gaseinlass sorgen dafür, dass Partikel in der beheizten Zone suspendiert werden und nicht nur darin platziert sind.
• Doppelwandiges Gehäuse mit Luftkühlung:die Außenverkleidung bleibt kühler als bei einem einwandigen Ofen mit derselben Kammertemperatur.
• Geteilter, öffenbarer Ofenkörper:der Körper lässt sich öffnen, sodass das Quarzrohr ausgetauscht werden kann, ohne den Ofen zu demontieren.
• Quarzrohrschutz:eine Abschirmung um das Rohr schützt vor Verletzungen, falls der Quarz unter Vakuum oder Thermoschock bricht.
• Mechanisches Sicherheitsüberdruckventil:schützt vor Überdruck, falls die poröse Quarzfilterplatte blockiert wird.
• Aluminiumoxid-Kammer mit Hochtemperatur-Beschichtung:hochgereine Aluminiumoxid-Faserisolierung mit einer aus den USA importierten Hochtemperatur-Aluminiumoxid-Beschichtung auf der Kammeroberfläche für höhere Heizeffizienz und längere Lebensdauer der Kammer.
• HRE-Legierungs-Heizelemente:1200 °C in weniger als 1 Stunde erreichbar, 1150 °C im Dauerbetrieb, ±1 °C Genauigkeit an einem K-Typ-Thermoelement.
• Edelstahl-Dichtungsbaugruppe:Doppel-Silikon-O-Ring-Flanschbaugruppe als Standard, mit optionalen Pumpensätzen bis zu 5 × 10⁻¹ Pa (mechanisch) oder 5 × 10⁻³ Pa (Turbo).

Vollständige technische Daten

1. Ofenkörper und thermische Spezifikationen

2. Quarzrohr und poröse Platte

3. Vakuum- und Dichtungssystem

4. Abmessungen, Gewicht und Garantie

5. Verbrauchsmaterialien und Garantieregelungen

Steuerungssystem

Die Steuerung läuft auf einem eingebetteten Betriebssystem mit einem 7-Zoll-Echtfarb-Touchscreen. Vier Funktionen sind für wiederholbare Pulver-CVD-Arbeiten von Bedeutung:

Die folgenden Screenshots folgen der Reihenfolge der obigen Zeilen: die gespeicherte Kurvenbibliothek, der Kurveneditor, die umschaltbare Benutzeroberfläche, die nichtlineare Korrektur, der zeitgesteuerte Start und die beiden Schutzalarme.

Die Steuerung speichert 15 Temperaturkurven, sodass ein Rezept nicht für jeden Lauf neu eingegeben werden muss.

Bildschirm zur Einstellung der Temperaturkurve.

Das eingebettete Betriebssystem schaltet auf dem 7-Zoll-Echtfarb-Touchscreen zwischen Chinesisch und Englisch um.

Nichtlineare Probentemperaturkorrektur, die verwendet wird, um die angezeigte Temperatur in Übereinstimmung mit der gemessenen Probentemperatur zu bringen.

Zeitgesteuerter Start, eine optionale Funktion für Läufe, die zu einer festgelegten Zeit beginnen müssen.

Übertemperaturalarm Zone 1.

Übertemperatur Zone 1 mit Thermoelementbruchanzeige.

Praktische Betriebsempfehlungen

• Bestellen Sie die poröse Platte zusammen mit dem Pulver und nicht danach: Die Porengröße bestimmt sowohl den Druckverlust über der Platte als auch die Gleichmäßigkeit der Gasverteilung, wodurch entschieden wird, ob das Fließbett bei dem von Ihnen bereitgestellten Durchfluss fluidisiert werden kann.
• Planen Sie die Verweilzeit unterhalb der Dauerleistung ein: 1200 °C sind die erreichbare Spitze, 1150 °C ist die Dauerжитtemperatur. Lange Haltezeiten gehören zu oder unter 1150 °C.
• Halten Sie die Aufheizrate bei oder unter 20 °C/min: das ist die maximale Aufheizrate, für die der Ofen ausgelegt ist, und sie begrenzt zudem den Thermoschock am Quarzrohr.
• Entfernen Sie niemals den Rohrschutz oder das Überdruckventil: der Schutz enthält Quarz, falls das Rohr versagt, und das mechanische Überdruckventil öffnet sich, falls die poröse Platte verstopft und sich Druck aufbaut.
• Prüfen Sie die Gaskompatibilität vor dem Betrieb: Schäden durch korrosive und saure Gase sind von der Garantie ausgeschlossen, stellen Sie daher vor dem ersten Aufheizzyklus sicher, dass das Prozessgas zulässig ist.
• Legen Sie Verbrauchsmaterialien auf Lager: das Heizelement, das Thermoelement und der Probeniegel sind Verbrauchsmaterialien und nicht im Lieferumfang enthalten. Bestellen Sie Ersatzteile daher am besten zusammen mit dem Ofen und nicht erst nach einem Ausfall.
• Nutzen Sie die 15 gespeicherten Kurven als Ihr Rezepturarchiv: eine Kurve pro Prozess sorgt dafür, dass derselbe Beschichtungslauf über verschiedene Bediener hinweg reproduzierbar bleibt.

Engineering-FAQ

F1. Welches Rohr sollte ich wählen, Φ25mm oder Φ50mm?

A. Beide werden mit einer Länge von 600mm angeboten. Das größere Rohr fasst mehr Pulver pro Lauf und sorgt bei gleichem Volumenstrom für eine geringere Gasgeschwindigkeit; das kleinere Rohr erreicht die Austragungsgeschwindigkeit mit weniger Gas. Wählen Sie entsprechend dem Pulvervolumen, das Sie pro Experiment benötigen, und dem Gasfluss, den Sie bereitstellen können.

F2. Welche Porengröße sollte die poröse Quarzplatte haben?

A. Porengrößen von 4–550 μm sind erhältlich und die Platte wird auftragsbezogen gefertigt. Die Porengröße muss klein genug sein, um das Pulver im Ruhezustand zu halten, und offen genug, um das Prozessgas bei einem praktikablen Druckverlust durchzulassen, weshalb sie zusammen mit dem Pulver und nicht separat spezifiziert wird.

F3. Wie heiß wird er und wie schnell heizt er auf?

A. 1200 °C werden in unter 1 Stunde erreicht. Die Dauerverwendungstemperatur beträgt 1150 °C, die Temperaturgenauigkeit liegt bei ±1 °C an einem K-Typ-Thermoelement und die maximale Aufheizrate beträgt ≤20 °C/min.

F4. Welches Vakuumiveau kann erreicht werden?

A. Mit einem optionalen mechanischen Pumpensatz erreicht das System 5 × 10⁻¹ Pa; mit einem optionalen Turbopumpensatz erreicht es 5 × 10⁻³ Pa. Die Standardlieferung umfasst die Edelstahldichtflanschbaugruppe mit doppelten Silikon-O-Ringen.

F5. Was passiert, wenn die poröse Platte verstopft?

A. Ein mechanisches Sicherheitsüberdruckventil ist als Teil der Standarddichtungsbaugruppe integriert, sodass ein durch eine verstopfte Quarzfilterplatte aufgebauter Druck abgelassen und nicht eingeschlossen wird. Ein Quarzrohrschutz ist ebenfalls Standard, sodass ein Rohrversagen den Bediener nicht gefährdet.

F6. Kann ich saure oder korrosive Prozessgase verwenden?

A. Schäden durch korrosive und saure Gase sind nicht von der Garantie abgedeckt, daher muss jedes saure oder korrosive Prozessgas vor der Verwendung im Ofen mit uns abgeklärt werden.

F7. Was umfasst die Garantie und was ist nicht enthalten?

A. Ein Jahr Garantie mit lebenslangem technischem Support. Verschleißteile — das Heizelement, das Thermoelement, der Probeniegel und ähnliche Artikel — sind nicht im Lieferumfang enthalten, und Schäden durch korrosive oder saure Gase sind ausgeschlossen.

F8. Was sind die Abmessungen und das Gewicht?

A. 510mm × 430mm × 1000mm, mit einem Nettogewicht von ca. 35KG. Der Ofen steht vertikal, sodass die Rohrachse vertikal verläuft und das Gas von unten einströmt.

Teilen Sie uns das Pulver, die Partikelgröße und die gewünschte Beschichtung mit. Wir melden uns mit dem Rohrdurchmesser, der Porengröße der porösen Platte und dem passenden Pumpensatz für Ihren Lauf bei Ihnen zurück.

tob.amy@tobmachine.com | +86 181 2071 5609

Geprüft von: Pinery Gong, Battery Assembly & Yield Process ｜ Letzte Aktualisierung: 2026-10-19

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